等离子体刻蚀机是利用高频辉光放电反应,将反应气体为原子或游离基等具有活性的粒子,这些活性粒子扩散到需要腐蚀的位置,然后与被刻蚀的物质发生反应,形成挥发性反应物,这种腐蚀方法也称为干腐蚀。等离子化洗蚀刻技术是电浆特殊特性的应用。等离子体清洗蚀刻技术的形成设备,是在密闭器皿内用进口真空泵达到相应的真空度,随着气体的稀薄,分子间隔及分子与离子之间的自由运动距离变长,在电场的作用下碰撞形成等离子体,这些离子活性很高,能量破坏了化学键的大部分化学键。
等离子体刻蚀机清洗技术在半导体行业、航空航天技术、精密机械、医疗、塑料、印刷、、液晶显示屏、电子电路、手机零部件等广泛的行业中有着**的应用。
等离子体刻蚀机清洗技术在塑料及橡胶行业中的应用:
丙烯类塑料材料是无极性的,这些产品在印刷、粘合、涂布等未经表面处理状态下的效果非常差,甚至不能做。采用等离子蚀刻机技术对产品做表面处理,可增强表面粘合力和粘接强度。然而,等离子刻蚀机清洗工艺中,工艺气体、气体流量、功率、处理时间等因素都会影响清洗工艺,如果合理地选择这些参数,将有效地增强处理的效果。在金属、陶瓷和玻璃等表面上,通常会有**物质和氧化层,在做粘接、连接、焊接、铜焊和CVD前,都需要使用等离子刻蚀机处理才能获得完全洁净的无氧化层。
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